1、質(zhì)量流量控制器為什么以SCCM和SLM為單位？
從測量原理講，熱式質(zhì)量流量計是通過利用氣體的比熱與密度，采用毛細管溫差量熱法進行測量，流量控制器測量的就是質(zhì)量流量，但顯示出的數(shù)值是通用的標(biāo)況(101325Pa；0℃)體積流量。由于一般氣體的密度都指標(biāo)況下的密度，因此直接用體積乘以密度就可以得到所通過氣體的質(zhì)量。SCCM與SLM為體積流量的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)單位，代表標(biāo)況下的體積流量。SLM(Standard Liter per Minute)是表示每分鐘標(biāo)準(zhǔn)升。SCCM(Standard Cubic Centimeter per Minute)是表示每分鐘標(biāo)準(zhǔn)毫升。
2、流量控制器對使用條件和環(huán)境有什么要求？
通常情況是環(huán)境溫度，流量規(guī)格，壓力，根據(jù)產(chǎn)品的型號不同也有差異。
3、內(nèi)漏與外漏區(qū)別是什么？
內(nèi)漏是指氣體整個氣路內(nèi)部泄漏，主要是電磁調(diào)節(jié)閥關(guān)不死造成的；外漏是管路中氣體漏到氣路外部， 主要是接頭密封不嚴(yán)造成的。
4、設(shè)定點精度與滿量程精度的區(qū)別是什么？
設(shè)定點精度是相對于設(shè)定點本點的精度，滿量程精度是相對于滿量程流量的精度。舉例：量程為 100SCCM的流量控制器，當(dāng)設(shè)定 50SCCM時，其設(shè)定點精度為±0.5SCCM，即 50×(±1%)=±0.5SCCM；滿量程精度為±1SCCM，即100SCCM×(±1%)=±1SCCM。
5、什么是產(chǎn)品響應(yīng)時間？
當(dāng)流量設(shè)定點發(fā)生變化時，流量控制器的流量穩(wěn)定達到流量設(shè)定點的一定范圍內(nèi)的最短時間。響應(yīng)時間又分為氣特性響應(yīng)時間和電特性響應(yīng)時間，氣特性響應(yīng)時間是指實際流量達到設(shè)定值所需的時間，電特性響應(yīng)時間是指流量控制器的輸出信號達到設(shè)定值所需時間，一般來說氣特性響應(yīng)要快于電特性響應(yīng)。
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